14微米叠十层几乎0偏移!浦项科大把芯片堆叠密度干到HBM四倍
快科技7月8日讯—— 浦项科技大学(POSTECH)研究团队近日在半导体封装领域取得重大突破,微米成功开发出一种超薄半导体芯片的叠层大把堆叠稳定堆叠技术。该成果由机械工程系金锡教授、乎偏博士生金宇铉以及韩国工业技术研究院(KITECH)金浩铉博士联合研发,移浦标志着高性能AI半导体存储技术迈出了关键一步。项科芯片

密度提升4倍,密度直击HBM技术痛点
高带宽内存(HBM)作为AI芯片的微米核心组件,其性能直接取决于多层存储芯片的叠层大把堆叠垂直堆叠密度。理论上,乎偏堆叠层数越多,移浦数据传输速度越快,项科芯片但随之而来的密度技术挑战也呈指数级增长。
当芯片厚度缩减至几十微米甚至更薄时,微米传统制造工艺往往面临失效风险。叠层大把堆叠超薄芯片极易发生弯曲或断裂,乎偏导致良率下降,这一瓶颈长期制约着HBM层数的进一步突破。
创新工艺:转移印刷与实时键合的完美融合
为了解决这一难题,研究团队创造性地将转移印刷(Transfer Printing)与实时键合(Real-time Bonding)两种技术整合为一个统一的工艺平台:
- 精准定位:转移印刷技术负责将芯片以极高的精度移至指定位置。
- 同步连接:在芯片转移的瞬间,实时键合技术同步完成金属互连。
这种“三位一体”的集成方案(转移、贴装、电气连接一体化),从根本上解决了超薄芯片在操作过程中的物理损伤与连接难题。
温和条件下实现14微米十层堆叠
利用这一新工艺,团队在极为温和的条件下——温度低于180摄氏度、压力低于20千帕——成功实现了厚度约14微米的超薄硅芯片堆叠,层数超过10层。
- 直观对比:14微米的厚度仅约为成人头发丝直径的五分之一。
- 精度控制:堆叠完成后,层间对位误差极小,芯片翘曲现象被大幅抑制。
- 空间效率:在相同的封装高度内,可容纳的芯片数量显著增加,集成密度达到现有HBM技术的约4倍。

应用前景与学术发表
这项技术不仅为AI半导体的高密度存储提供了新路径,还具备广泛的应用潜力,包括:
* 小芯片(Chiplet)封装
* 微发光二极管(Micro-LED)显示器
相关研究成果已正式发表在国际学术期刊《Results in Engineering》的网络版上。行业分析指出,从材料工艺到集成方案的全面创新,这项突破为后摩尔时代的芯片堆叠技术提供了极具价值的参考范式。
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